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光柵傳感器是如何進(jìn)行測距的
首先我們來看看，什么是光柵傳感器？
光柵傳感器是指利用光柵莫爾條紋原理來測量位移的傳感器。
光柵傳感器由四部分組成：直尺光柵、指示光柵、光路系統(tǒng)和測量系統(tǒng)。當(dāng)標(biāo)尺光柵相對(duì)于指示光柵移動(dòng)時(shí)，它會(huì)形成大致呈正弦曲線分布的明暗莫爾條紋。
光柵是由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學(xué)器件。常用的光柵是通過在玻璃板上雕刻大量平行刻線而制成的?？毯凼遣煌该鞯牟糠?，兩個(gè)刻痕之間的光滑部分可以透光，相當(dāng)于一條縫。精制的光柵在1cm寬度內(nèi)有數(shù)千甚至數(shù)萬個(gè)缺口。
這種利用透射光衍射的光柵稱為透射光柵，也有利用兩凹口之間反射光衍射的光柵。例如，在表面刻有許多平行的凹口并帶有金屬層，兩個(gè)凹口之間的光滑金屬表面可以反射光線，這種光柵就變成了反射光柵。光柵形成的莫爾條紋具有光學(xué)放大和平均誤差效應(yīng)，可以提高測量精度。
下一篇：光柵傳感器的原理是什么
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